系統(tǒng)概述

沸石濃縮轉(zhuǎn)輪模廠測試設(shè)備為處理無塵室製程區(qū)環(huán)境循環(huán)大氣所含之低濃度揮發(fā)性有機(jī)物的污染防制設(shè)施，系統(tǒng)主要包括

• 利用疏水性沸石濃縮轉(zhuǎn)輪吸附及濃縮揮發(fā)性有機(jī)物氣體
• 透過多種型式的加熱設(shè)施，脫附濃縮的揮發(fā)性有機(jī)物氣體
• 模廠測試設(shè)備處理風(fēng)量為25CMM

操作原理

• 揮發(fā)性有機(jī)氣體通過疏水性沸石濃縮轉(zhuǎn)輪後，能有效被吸附於沸石中，達(dá)到去除之目的
• 經(jīng)過沸石吸附揮發(fā)性有機(jī)物之潔淨(jìng)氣體，直接排入循環(huán)大氣或HVAC
• 轉(zhuǎn)輪待機(jī)以每小時1~6轉(zhuǎn)的速度旋轉(zhuǎn)，同時將吸附之揮發(fā)性有機(jī)粅傳送至脫附區(qū)
• 於脫附區(qū)中利用一小段加熱氣體將揮發(fā)性有機(jī)物進(jìn)行脫附
• 脫附後之沸石轉(zhuǎn)輪旋轉(zhuǎn)至吸附區(qū)，持續(xù)吸附揮發(fā)性有機(jī)氣體
• 脫附後之濃縮有機(jī)廢氣送至後續(xù)處理設(shè)施，進(jìn)行二次濃縮或燃燒轉(zhuǎn)換成水及二氧化碳排至大氣中
• 新設(shè)製程污染防治設(shè)備處理效率評估或測試及操作參數(shù)最佳化調(diào)整